レーザー加工方法およびレーザー加工装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：上島淳一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998023879
Publication number (International publication number)：1999207478
Application date： Jan. 21, 1998
Publication date： Aug. 03, 1999
Summary：

【要約】【課題】光の吸収端の波長が短く、また、構成原子間の結合エネルギーが大きい石英ガラスなどの材料に対して、微細パターンを高速で形成する。【解決手段】加工対象材料に、加工対象材料に対して透明なレーザー光を照射するとともに、加工対象材料の加工対象面に近接してプラズマを生成し、プラズマと加工対象材料に照射されたレーザー光との相互作用によって、加工対象材料の加工対象面でアブレーションを発生させて加工を行う。

Claim (excerpt)：

加工対象材料に、前記加工対象材料に対して透明なレーザー光を照射するとともに、前記加工対象材料の加工対象面に近接してプラズマを生成し、前記プラズマと前記加工対象材料に照射されたレーザー光との相互作用によって、前記加工対象材料の前記加工対象面でアブレーションを発生させて加工を行うことを特徴とするレーザー加工方法。

IPC (4)：

B23K 26/00 , B23K 26/06 , B23K 26/12 , H01S 3/00

FI (4)：

B23K 26/00 D , B23K 26/06 J , B23K 26/12 , H01S 3/00 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

マーキング方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-333581 Applicant：ミヤチテクノス株式会社
Nd:YAGレーザを使用するガラス上へのレーザスクライビング
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-216462 Applicant：サンタ・バーバラ・リサーチ・センター
特開昭63-238289

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