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J-GLOBAL ID：200903017636135912

照度校正システム

Inventor： 村 地 篤 ,  吉 村 治 巳
Applicant, Patent owner： 応用電機株式会社 ,  株式会社北辰光器
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000370725
Publication number (International publication number)：2002174551
Application date： Dec. 05, 2000
Publication date： Jun. 21, 2002
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 従来の照度校正システムは絞り機構の光量と操作量の関係が直線性を持つものしか利用できない上に、照度切換速度にも限界がある。また照度を均一化させる手段は高価であるし、複雑で手間を要する。【解決手段】 照度制御機構は、照度を変化させる可変絞り7と、複数のNDフィルタ8,9と、各NDフィルタを組合せる駆動手段19と、目標の照度値を実現するNDフィルタの組合せを予め記憶させたメモリと、目標照度値に基づいて駆動手段を作動させ、照度が目標値になるように制御する制御手段とを具備するものとした。また、照射機構は、照度を均一化する均一化手段2と、照明視野を限定するマスクと、露光位置にテレセントリック照射させる照射手段とを具備するものとした。

Claim (excerpt)：

光源の照度を制御し一定に保持する照度制御機構を具備する照度校正システム。

IPC (5)：

G01J 1/02 ,  G01J 1/04 ,  G01J 1/06 ,  G01J 1/22 ,  H05B 37/02

FI (6)：

G01J 1/02 S ,  G01J 1/04 A ,  G01J 1/04 B ,  G01J 1/06 A ,  G01J 1/22 ,  H05B 37/02 D

F-Term (22)：

2G065AA03 ,  2G065AB26 ,  2G065BA04 ,  2G065BB05 ,  2G065BB09 ,  2G065BB20 ,  2G065BB24 ,  2G065BB26 ,  2G065BC19 ,  2G065BC33 ,  2G065BC35 ,  2G065DA01 ,  3K073AA12 ,  3K073AA14 ,  3K073AA54 ,  3K073BA28 ,  3K073CC12 ,  3K073CE17 ,  3K073CF01 ,  3K073CF12 ,  3K073CH21 ,  3K073CM07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-110428
  
• 露光装置及び照度分布計測方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-092177   Applicant：株式会社ニコン
• 低照度校正装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-300931   Applicant：松下電器産業株式会社