積層型圧電素子の製造方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995080118
Publication number (International publication number)：1996279631
Application date： Apr. 05, 1995
Publication date： Oct. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】強度的に信頼性が高く精度の良い積層型圧電素子を短時間で製造する製造方法を提供する。【構成】圧電セラミック層40と内部電極層42,44とが交互に積層されて構成されており、複数本の細いアクチュエータ部46を持ち、そのアクチュエータ部46が積層方向に変位する積層型圧電素子38の製造方法において、グリーンシート50,51の積層体を焼結した後、スリット状の孔部52を超音波砥粒加工により形成する。前記積層型圧電素子38には、前記孔部が52が貫通孔として形成され、その両端部分がそれぞれ未穿孔部分で連結されたアクチュエータ部46が形成される。

Claim (excerpt)：

少なくとも一対の電極を内部に備え、その少なくとも一部が分割されて複数のアクチュエータ部を構成し、前記電極間へ選択的に電界を印加させることにより、前記アクチュエータ部を変位させる積層型圧電素子を作成する積層型圧電素子の製造方法において、圧電材料からなる圧電層と導電性材料からなる電極層とを交互に積層圧着させて積層体を形成する第1の工程と、前記積層体に、超音波砥粒加工により各層の積層方向を深さとする孔部を形成し、前記アクチュエータ部に分割する第2の工程とを有することを特徴とする積層型圧電素子の製造方法。

IPC (2)：

H01L 41/083 , B41J 2/16

FI (2)：

H01L 41/08 S , B41J 3/04 103 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

特開平4-141430
インクジェットヘッド及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-178039 Applicant：セイコーエプソン株式会社
特開平3-256658

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