ファイバーの製造方法、ファイバーを用いた、電子放出素子、電子源及び画像表示装置の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東哲也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002189580
Publication number (International publication number)：2003160321
Application date： Jun. 28, 2002
Publication date： Jun. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】単位面積当たりの電子放出点を増やし、電流密度が高く、寿命が長く、作製が単純な方法を提供する。【解決手段】粒子生成室で生成された粒子を、キャリアガスとともに搬送管を通して配置室に導き、該配置室内のステージ上に設置された基板1上にノズルを通じて配置するガスデポジション法によって、触媒粒子4を、基板1上に形成した陰極電極3に配置し、該触媒粒子4を核として気相から炭素を主成分とするファイバー5を成長させる。

Claim (excerpt)：

粒子生成室で生成された粒子を、キャリアガスとともに搬送管を通して配置室に導き、該配置室内のステージ上に設置された基板上にノズルを通じて配置するガスデポジション法によって、触媒粒子を前記基板上に配置し、該触媒粒子を核として気相から炭素を主成分とするファイバーを成長させることを特徴とするファイバーの製造方法。

IPC (9)：

C01B 31/02 101 , C01B 31/02 , B82B 3/00 , C01B 31/04 101 , D01F 9/127 , H01J 1/304 , H01J 9/02 ZNM , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (9)：

C01B 31/02 101 F , C01B 31/02 101 Z , B82B 3/00 , C01B 31/04 101 Z , D01F 9/127 , H01J 9/02 ZNM B , H01J 29/04 , H01J 31/12 C , H01J 1/30 F

F-Term (52)：

4G146AA02 , 4G146AA11 , 4G146AB06 , 4G146AD02 , 4G146AD29 , 4G146BC08 , 4L037AT01 , 4L037AT05 , 4L037CS03 , 4L037CS04 , 4L037FA02 , 4L037FA04 , 4L037FA20 , 4L037PA05 , 4L037PA12 , 4L037PA28 , 4L037UA04 , 5C031DD17 , 5C031DD19 , 5C036EE01 , 5C036EE14 , 5C036EE19 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG12 , 5C036EH11 , 5C127AA01 , 5C127BA09 , 5C127BA13 , 5C127BA15 , 5C127BB07 , 5C127BB08 , 5C127BB15 , 5C127CC12 , 5C127DD33 , 5C127DD34 , 5C127DD35 , 5C127EE02 , 5C127EE07 , 5C127EE15 , 5C135AA09 , 5C135AA13 , 5C135AB07 , 5C135AB08 , 5C135BB02 , 5C135GG12 , 5C135GG13 , 5C135GG14 , 5C135HH02 , 5C135HH07 , 5C135HH15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

カーボンナノチューブの製法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-008461 Applicant：キヤノン株式会社
カーボンナノチューブの製法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-161292 Applicant：キヤノン株式会社
炭素系超微細冷陰極及びその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-301259 Applicant：日本真空技術株式会社

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