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J-GLOBAL ID：200903017882162333

薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法とそれに用いる装置

Inventor： 中村 明子 ,  五十嵐 慎一 ,  戸田 雅也 ,  ベルガー ルーディガー
Applicant, Patent owner： 独立行政法人物質・材料研究機構
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007053334
Publication number (International publication number)：2008216021
Application date： Mar. 02, 2007
Publication date： Sep. 18, 2008
Summary：

【課題】 本発明は、超薄膜をもそのヤング率を求めることができる手法とそれに使用する装置とを提供することを目的とした。 【解決手段】 本発明の薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法は、機械特性が既知のフィルム基板の片面に、測定対象となる薄膜を成膜し、異なる複数の環境湿度における前記薄膜の厚さを測定し、この値から単位湿度あたりの線膨張率を測定し、前記フィルム基板の歪みとを測定し、前記フィルム基板の歪み変化と前記線膨張率とを、バイメタル効果を利用した歪みの関係式の歪みの量と熱膨張率の項に代入することにより、対象となる薄膜のヤング率相当の機械特性を算定することを特徴とする。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

薄膜のヤング率相当の機械特性を測定する方法であって、機械特性が既知のフィルム基板の片面に、前記薄膜を成膜し、異なる複数の環境湿度若しくは温度における前記薄膜の厚さと前記フィルム基板の歪みとを測定し、前記フィルム基板の歪み変化と、前記薄膜の厚さ変化により、バイメタル効果を考慮して基板と薄膜の膨張率とひずみの関係を表す式のヤング率の項を変数として書き直した関係式に基づき、前記ヤング率相当の機械特性を算定することを特徴とする薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法。

IPC (1)：

G01N 3/00

FI (1)：

G01N3/00 P

F-Term (8)：

2G061AA07 ,  2G061AC10 ,  2G061BA06 ,  2G061CA20 ,  2G061CB01 ,  2G061DA05 ,  2G061EA02 ,  2G061EA04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特許3572358号
  

Cited by examiner (3)

• 特開平3-122544
  
• 特開平3-221854
  
• 高分子膜の体積膨張に伴うストレス変化を利用した湿度センサー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-104023   Applicant：独立行政法人物質・材料研究機構

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• "Determining Young'modulus of donductive thin films by a thermal bend beam test"