欠陥分類方法及び装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003089686
Publication number (International publication number)：2004294360
Application date： Mar. 28, 2003
Publication date： Oct. 21, 2004
Summary：

【課題】ユーザの欠陥分類要求を実現するために最適な分類モデルがユーザにとって不明であるために、ユーザは必ずしも好適とは言えない分類モデルを設定して分類を行ってしまい、結果として分類性能が低下する。【解決手段】複数の分類モデル候補を自動生成し、複数の分類モデルによって算出したクラス尤度を組み合わせて分類する。組み合わせに際しては、各モデルの妥当性に関する指標、換言すれば、各分類モデル候補の算出する尤度を信頼できる程度を示す指標をも算出し、この結果を勘案して前記複数の分類モデルによって算出したクラス尤度を組み合わせて分類する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

試料を撮像して得た画像から抽出した欠陥を分類する方法であって、試料を撮像して欠陥の画像を得、該欠陥の画像から欠陥の特徴量を抽出し、該抽出した欠陥の特徴量の情報を用いて該抽出した欠陥が分類クラスに属する尤度を算出するルールベース型分類と学習型分類とを組合わせた分類モデルを少なくとも一種類以上作成し、該少なくとも一種類以上の分類モデルを用いて前記特徴量を抽出した欠陥を分類することを特徴とする欠陥分類方法。

IPC (5)：

G01N21/956 , G01B11/30 , G01B15/00 , G06T1/00 , G06T7/00

FI (6)：

G01N21/956 A , G01N21/956 B , G01B11/30 A , G01B15/00 B , G06T1/00 305A , G06T7/00 300F

F-Term (47)：

2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065CC25 , 2F065FF41 , 2F065FF67 , 2F065JJ03 , 2F065PP24 , 2F065QQ00 , 2F065QQ03 , 2F065QQ17 , 2F065QQ23 , 2F065QQ24 , 2F065QQ41 , 2F065TT02 , 2F067AA45 , 2F067BB01 , 2F067BB04 , 2F067HH06 , 2F067KK04 , 2F067NN01 , 2F067RR00 , 2F067RR31 , 2F067RR41 , 2F067RR44 , 2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051AC02 , 2G051AC04 , 2G051BA20 , 2G051CA20 , 2G051CC20 , 2G051EC01 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057DA01 , 5B057DA12 , 5B057DB02 , 5B057DC09 , 5B057DC36 , 5B057DC40 , 5L096BA03 , 5L096CA02 , 5L096FA00 , 5L096JA11 , 5L096MA07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

ハイブリッドで一様に適用可能な自動欠陥分類法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-219833 Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
検査装置および検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-195128 Applicant：株式会社日立製作所
画像自動分類方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-065151 Applicant：株式会社日立製作所

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