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J-GLOBAL ID：200903018388373450

ポリイミド系樹脂用エッチング液組成物及びエッチング方法

Inventor：
寒川 博司

About 寒川 博司


Applicant, Patent owner：
ソニーケミカル株式会社

About ソニーケミカル株式会社


Agent (1)： 田治米 登 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999233317
Publication number (International publication number)：2001055570
Application date： Aug. 19, 1999
Publication date： Feb. 27, 2001
Summary：
【要約】【課題】 アルカリ金属イオン汚染やハロゲンイオン汚染や重金属汚染の懸念が生じず、しかもエチレンジアミン等の毒性の強い成分を使用せずに、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を酸成分とするポリイミド樹脂に対しても実用的なエッチング速度と、良好なエッチング精度を示すエッチング液を提供する。【解決手段】 以下の成分(A)、(B)及び(C):(A) 第四級アンモニウムハイドロオキサイド 5〜67重量%;(B) アルコール系溶剤 3〜85重量%; 及び(C) 水 10〜70重量%からポリイミド系樹脂用エッチング液組成物を構成する。
Claim (excerpt)：
以下の成分(A)、(B)及び(C):(A) 第四級アンモニウムハイドロオキサイド 5〜67重量%;(B) アルコール系溶剤 3〜85重量%; 及び(C) 水 10〜70重量%を含有することを特徴とするポリイミド系樹脂用エッチング液組成物。
IPC (4)：
C09K 13/06 ,  C08J 7/00 ,  H01L 21/308 ,  H05K 3/00
FI (4)：
C09K 13/06 ,  C08J 7/00 A ,  H01L 21/308 E ,  H05K 3/00 K
F-Term (14)：
4F073AA06 ,  4F073BA31 ,  4F073BB01 ,  4F073EA01 ,  4F073EA11 ,  4F073EA21 ,  4F073EA57 ,  4F073HA09 ,  5F043AA30 ,  5F043AA40 ,  5F043BB25 ,  5F043DD07 ,  5F043FF06 ,  5F043GG10
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (4)
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