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J-GLOBAL ID：200903018532969478
アルカリ現像性不飽和樹脂組成物及びこれを用いた高感度ネガ型パターン形成材料
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
成瀬 勝夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996146311
Publication number (International publication number)：1997325494
Application date： Jun. 07, 1996
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 現像マージンの広い高感度のアルカリ現像性不飽和樹脂組成物、また、この樹脂組成物を用いて形成される、高精彩カラーフィルター用材料や、高密度集積回路用の絶縁膜や封止材等の用途に好適な高感度ネガ型パターン形成材料を提供する。【解決手段】 1分子中に1個以上の重合性不飽和基を持つジオール化合物と酸二無水物とを反応させて得られたカルボキシル基含有交互共重合体を必須の酸性成分として含有し、このカルボキシル基含有交互共重合体の酸価が70〜170mgKOH/gであって、未反応酸二無水物及び/又は上記ジオール化合物1分子と酸二無水物1分子との付加物からなる未重合酸性成分の含有割合が全酸性成分中の20重量%以下であるアルカリ現像性不飽和樹脂組成物。また、この樹脂組成物を用いたカラーフィルター用若しくは回路絶縁材料用の高感度ネガ型パターン形成材料。
Claim (excerpt)：
1分子中に1個以上の重合性不飽和基を持つジオール化合物と酸二無水物とを反応させて得られたカルボキシル基含有交互共重合体を必須の酸性成分として含有し、このカルボキシル基含有交互共重合体の酸価が70〜170mgKOH/gであって、未反応酸二無水物及び/又は上記ジオール化合物1分子と酸二無水物1分子との付加物からなる未重合酸性成分の含有割合が全酸性成分中の20重量%以下であることを特徴とするアルカリ現像性不飽和樹脂組成物。
IPC (7)：
G03F 7/038 505
, G03F 7/038 501
, G02B 5/20 101
, G03F 7/028
, H01L 21/027
, H01L 21/312
, H05K 3/28
G03F 7/038 505
, G03F 7/038 501
, G02B 5/20 101
, G03F 7/028
, H01L 21/312 D
, H05K 3/28 D
, H01L 21/30 502 R
Cited by examiner (10)
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