強誘電体アクチュエータ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993116032
Publication number (International publication number)：1994335270
Application date： May. 18, 1993
Publication date： Dec. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】本発明は、強誘電体の分極反転電荷を用いた静電引斥力方式で、低電圧により駆動する微細構造に好適する強誘電体アクチュエータを提供することを目的とする。【構成】本発明は、櫛形電極部材321乃至324,331乃至333が互いに均等間隔に配置するバネ性保持部材461乃至474で側胴部31に吊られ、該櫛形電極部材は、導電性骨格部材351と、均等膜厚で覆ったPZT等の強誘電体膜381乃至385と、上層に電極361,371,362,372,39,401,411,407と、強誘電体分極反転電圧を供給するための端子42乃至45で構成されており、前記骨格部材351を電気的に浮かし、端子42,43に正負電圧を、44,45に対向した電極、361と39、371と401、362と411、372と402に焦出する電荷の極性が正負の組合せになるように正負の電圧を入力し、櫛形電極部材321乃至324,331乃至333が互いに引合い側胴部ともに収縮する強誘電体アクチュエータである。

Claim (excerpt)：

強誘電体と、この強誘電体に生じている分極状態を反転させる分極反転手段と、この分極反転手段により分極状態が反転したことによって前記強誘電体上に発生した表面電荷に作用して前記強誘電体との間に静電引斥力を生じせしめるように配置した静電荷保持手段とを有することを特徴とする強誘電体アクチュエータ。

IPC (3)：

H02N 11/00 , H01L 41/08 , G01B 21/30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

静電アクチユエータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-271956 Applicant：樋口俊郎, 住友重機械工業株式会社
特開平4-008181
特開昭64-089977

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