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J-GLOBAL ID：200903018596448196

プラズマエッチング用電極板

Inventor： 太田 幸次郎 ,  鎌田 充志 ,  小鍛治 和己
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997149210
Publication number (International publication number)：1999001783
Application date： Jun. 06, 1997
Publication date： Jan. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】 エッチング時にウエハ面に落下し付着する炭素粒子等の粒子数の少ないプラズマエッチング電極板を提供する。【解決手段】 スタッキング インデックスが0.8〜0.95であるガラス状炭素からなるプラズマエッチング用電極板及びラマンスペクトルの1500〜1620cm-1付近に生ずるピーク/1355〜1365cm-1付近に生ずるピークの比が0.4〜0.7であるガラス状炭素からなるプラズマエッチング用電極板。

Claim (excerpt)：

スタッキング インデックスが0.8〜0.95であるガラス状炭素からなるプラズマエッチング用電極板。

IPC (3)：

C23F 4/00 ,  C04B 35/52 ,  H01L 21/3065

FI (3)：

C23F 4/00 Z ,  C04B 35/52 A ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• プラズマエッチング用電極板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-279984   Applicant：東海カーボン株式会社
• 特開平3-037109
  
• プラズマエッチング用電極板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-052464   Applicant：東海カーボン株式会社