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J-GLOBAL ID：200903018954710248

振動ジャイロの駆動方法

Inventor： 三田村 健
Applicant, Patent owner： 日産自動車株式会社
Agent (1)： 中村 純之助 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994318158
Publication number (International publication number)：1996178665
Application date： Dec. 21, 1994
Publication date： Jul. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】小形、軽量かつ量産容易で、しかも十分精度の高い振動ジャイロの駆動方法を提供することにある。【構成】シリコン基板を異方性エッチングにより加工し、更にその他のLSI技術も適用して形成し、振動体を駆動するための電極対と振動体の振動状態監視用電極対とを同一電極対で兼用し、コリオリ力検出時には振動体に逆方向に静電引力が加わり、十分大きい電圧を印加できるようにした。

Claim (excerpt)：

一定方向に振動している振動体の振動方向を含む平面を、この平面上に存在し振動方向に直交する軸の周りに回転させるとき、振動体に作用するコリオリの力を検出して前記回転の角速度を計測するようにした振動ジャイロの駆動方法において、前記振動体と対向して前記振動体の各々反対側に配置された電極対を有し、前記電極対に交互に特定の周波数で駆動電圧を印加し、前記振動体に対して交互に逆方向の静電引力を作用させて前記振動体を駆動励振し、更に、この電極対を振動体の励振状態監視にも兼用して前記振動体の励振状態が常に一定となるように制御することを特徴とする振動ジャイロの駆動方法。

IPC (2)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 振動モノリシック・ジャイロスコープ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-231484   Applicant：モトローラ・インコーポレイテッド
• 回転振動ジャイロスコープおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-301709   Applicant：モトローラ・インコーポレイテッド
• 多軸振動モノリシックジャイロスコープ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-301707   Applicant：モトローラ・インコーポレイテッド