自己検知型SPMプローブ及びSPM装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：林敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998161175
Publication number (International publication number)：1999211736
Application date： Jun. 09, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】ピエゾ抵抗体間のリーク電流や光が照射されて発生するキャリアの影響を排除して、カンチレバーの撓み量を適正に検出できるようにすること。【解決手段】ピエゾ抵抗体22,24と半導体基板16とが接する面に、半導体基板16の導電型(p型シリコン基板)と逆の導電型(n- well領域)から成る不純物拡散層18,20を形成して絶縁による素子分離を行うことにより、ピエゾ抵抗体22及び24相互間、あるいはピエゾ抵抗体22と24との間におけるリーク電流や光が照射されて発生するキャリアの影響を排除することができる。

Claim (excerpt)：

半導体基板表面にピエゾ抵抗体がU字状に配置されたSPM プローブを用いた自己検知型SPM プローブにおいて、前記U字状のピエゾ抵抗体が対向する前記半導体基板間を絶縁処理して素子分離を行うことを特徴とする自己検知型SPM プローブ。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01J 37/28

FI (3)：

G01N 37/00 G , G01B 21/30 Z , H01J 37/28 X

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

集積型AFMセンサー及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-117572 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
原子力顕微鏡用ピエゾ抵抗性片持ばり構造体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-346134 Applicant：ザボードオブトラスティーズオブザリーランドスタンフォードジュニアユニバーシティ
集積型AFMセンサー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-256855 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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