めっき方法及び装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999301985
Publication number (International publication number)：2001123291
Application date： Oct. 25, 1999
Publication date： May. 08, 2001
Summary：

【要約】【課題】本発明は電解めっきを行うめっき装置に関し、被めっき物であるウエハが給電されていない状態でめっき液に触れた際の、ウエハ表面のエッチング及び腐食を防ぐことを課題とする。【解決手段】ウエハに対し常時微弱電圧を印加できる定電圧電源及び陰極電極と、水洗槽などの前処理槽,後処理槽でめっき処理槽と同様に給電を行える定電圧電源を設けることで課題を解決する。また、定電流電源と定電圧電源の出力を並列接続することにより定電圧電源の出力のオン/オフ制御を必要とせず、電源の制御を容易にする。【効果】上記解決手段により、ウエハ表面のエッチング及び腐食を防ぐことができた。また、電源の制御が容易にできた。

Claim (excerpt)：

被めっき物をめっき液中に浸漬させて電気めっきを行うめっき方法において、被めっき物に常時微弱電圧を印加できることを特徴とするめっき方法。

F-Term (11)：

4K024AB01 , 4K024BA01 , 4K024BB11 , 4K024BB12 , 4K024BC06 , 4K024CA06 , 4K024CA07 , 4K024CB05 , 4K024CB08 , 4K024GA01 , 4K024GA04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

電気めっき方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-014756 Applicant：ティーディーケイ株式会社
自動めっき装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-084368 Applicant：株式会社日立製作所, 日立協和工業株式会社
電気めっき装置および電気めっき方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-310919 Applicant：日立金属株式会社

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Cited by examiner (5)

電気めっき方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-014756 Applicant：ティーディーケイ株式会社
自動めっき装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-084368 Applicant：株式会社日立製作所, 日立協和工業株式会社
電気めっき装置および電気めっき方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-310919 Applicant：日立金属株式会社

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