フィルター付きペリクル

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：好宮幹夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999114580
Publication number (International publication number)：2000305254
Application date： Apr. 22, 1999
Publication date： Nov. 02, 2000
Summary：

【要約】【課題】通気性を確保しつつ、エアーブロー等の激しい空気流によっても異物の発生を抑えて固定することができ、より微細な異物を捕捉できるような通気機能を有するフィルター付きペリクルを提供する。【解決手段】少なくとも一つの気圧調整用の通気孔を持つペリクルフレームを有するペリクルにおいて、前記通気孔を覆うように貼り付けられているフィルターの内側表面の全面、かつフィルターの体積の50%以上に樹脂が含浸されていることを特徴とするフィルター付きペリクル。

Claim (excerpt)：

少なくとも一つの気圧調整用の通気孔を持つペリクルフレームを有するペリクルにおいて、前記通気孔を覆うように貼り付けられているフィルターの内側表面の全面、かつフィルターの体積の50%以上に樹脂が含浸されていることを特徴とするフィルター付きペリクル。

IPC (2)：

G03F 1/14 , H01L 21/027

FI (2)：

G03F 1/14 J , H01L 21/30 502 P

F-Term (3)：

2H095BB30 , 2H095BC31 , 2H095BC38

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

ペリクル用フィルター及びその作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-346768 Applicant：信越化学工業株式会社
フオトマスク及び半導体装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-272752 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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