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J-GLOBAL ID:200903019709984959
低汚染性接着シ-ト類とレジスト材の除去方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000011094
Publication number (International publication number):2001055546
Application date: Jan. 20, 2000
Publication date: Feb. 27, 2001
Summary:
【要約】【課題】 被着体である基板などの物品の表面に有機汚染物質が残ることのない再剥離用としての低汚染性接着シ-ト類を提供する。【解決手段】 フイルム基材上に感圧接着性ポリマ-を主剤成分として含む接着剤層が設けられてなる再剥離用の接着シ-ト類において、上記感圧接着性ポリマーにはオリゴマー状の低分子量体が実質的に含まれていないようにすることを特徴とする低汚染性接着シ-ト類。
Claim (excerpt):
フィルム基材上に感圧接着性ポリマーを主成分として含む接着剤層が設けられてなる接着シート類において、上記感圧接着性ポリマーにはオリゴマー状の低分子量体が実質的に含まれていないことを特徴とする低汚染性接着シート類。
IPC (3):
C09J 7/02
, G03F 7/42
, H01L 21/027
FI (3):
C09J 7/02 Z
, G03F 7/42
, H01L 21/30 572 Z
F-Term (13):
2H096AA25
, 2H096JA04
, 2H096LA06
, 4J004AA10
, 4J004AB01
, 4J004AB07
, 4J004CA02
, 4J004CA04
, 4J004CA06
, 4J004CC02
, 4J004FA04
, 4J004FA05
, 5F046MA11
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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帯電防止性感圧接着剤
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-014459
Applicant:三洋化成工業株式会社
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レジスト除去用粘着テ-プとレジスト除去方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-181885
Applicant:日東電工株式会社
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レジストの除去方法、およびこれに用いる接着剤もしくは接着シート類
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-075633
Applicant:日東電工株式会社
-
レジスト膜画像の除去方法とレジスト除去用接着材料
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-166980
Applicant:日東電工株式会社
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特開平3-162474
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アクリル系粘着テープ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-020259
Applicant:積水化学工業株式会社
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