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J-GLOBAL ID：200903019753959635
マイクロポンプとその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998324759
Publication number (International publication number)：2000154783
Application date： Nov. 16, 1998
Publication date： Jun. 06, 2000
Summary：
【要約】【課題】マイクロポンプを小型化し、かつマイクロポンプの部材と作動流体との化学反応を防いだマイクロポンプ及びその製造方法とそれを用いた装置を提供する。【解決手段】マイクロポンプを形成する部材をシリコン基板として接合する面側全体に金属膜を形成して接合面とした後、接合面を清浄化して、真空中にて接合面を対向させて重ね合わせて加熱かつ加圧して接合する。【効果】マイクロポンプの小型化を可能とする。また、マイクロポンプを形成する部材が作動流体と化学反応を起こし難くする。さらに、フッ素樹脂膜の耐薬品性が向上する。
Claim (excerpt)：
ノズル基板と、前記ノズル基板と一面側が接合されたバルブ基板と、前記バルブ基板の他面側と接合されるチャンバ基板と、前記チャンバ基板の前記バルブ基板と接合された面と反対側の面に接合されるダイアフラム基板とから構成されたマイクロポンプにおいて、前記各基板はシリコンを母材とし、前記各基板の接合部にそれぞれ金属膜を形成し、前記接合部同士を接合して構成したことを特徴とするマイクロポンプ。
F-Term (11)：
3H077AA08
, 3H077BB10
, 3H077CC02
, 3H077CC09
, 3H077DD06
, 3H077EE22
, 3H077EE34
, 3H077EE36
, 3H077FF03
, 3H077FF36
, 3H077FF60
Cited by examiner (3)
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流体制御装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平3-178482
Applicant：アイシン精機株式会社
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マイクロポンプ
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平5-106260
Applicant：沖電気工業株式会社
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マイクロポンプおよびマイクロポンプの製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平9-072270
Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
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