フオトマスク用エッチング装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小西淳美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996285940
Publication number (International publication number)：1998116820
Application date： Oct. 09, 1996
Publication date： May. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】フオトマスクのドライエッチング装置であって、帯電によるパターンの破壊を防止できるように、除電機構部を備えたドライエッチング装置を提供する。【解決手段】フオトマスクをドライエッチングするエッチング装置であって、基板の除電を行うための除電機構部を備えている。

Claim (excerpt)：

フオトマスクをドライエッチングするエッチング装置であって、基板の除電を行うための除電機構部を備えていることを特徴とするフオトマスク用エッチング装置。

IPC (3)：

H01L 21/3065 , G03F 1/08 , H01L 21/027

FI (3)：

H01L 21/302 B , G03F 1/08 A , H01L 21/30 502 P

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

プラズマ処理装置及び半導体装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-155849 Applicant：三菱電機株式会社
特開平1-293618
特開平1-293618

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