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J-GLOBAL ID：200903020089784499
ダイアモンド類似ナノ複合材組成物
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松井 光夫
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997537689
Publication number (International publication number)：2000508713
Application date： Apr. 11, 1997
Publication date： Jul. 11, 2000
Summary：
【要約】発明は、H濃度がC濃度の40〜80%であるところのa-C:Hおよびa-Si:Oのネットワークを有しかつ、相対湿度90%までの空気中で又は水中で0.1より小さい、鋼に対する摩擦係数を持つ改良されたダイアモンド類似ナノ複合材組成物に関する。発明はまた、減圧室内で基体上に該組成物を沈積する方法に関する。組成物は好ましくは、30〜70原子%のC、20〜40原子%のH、5〜15原子%のSi、および5〜15原子%のOを含み遷移金属でドープされている事が出来る。
Claim (excerpt)：
H濃度がC濃度の40〜80%であるところのa-C:Hおよびa-Si:Oのネットワークを有しかつ、相対湿度90%までの空気中で又は水中で0.1より小さい、鋼に対する摩擦係数を持つ改良されたダイアモンド類似ナノ複合材組成物。
IPC (4)：
C23C 16/26
, C01B 31/02 101
, C01B 33/00
, C23C 16/503
C23C 16/26 Z
, C01B 31/02 101 Z
, C01B 33/00
, C23C 16/50 A
