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J-GLOBAL ID：200903020093646971
導電性走査型顕微鏡用プローブ及びこれを用いた加工方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
三木 久巳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000403559
Publication number (International publication number)：2002162336
Application date： Nov. 26, 2000
Publication date： Jun. 07, 2002
Summary：
【要約】【課題】 探針となる導電性ナノチューブと試料の間に電圧を印加したり、通電させたりすることができる導電性走査型顕微鏡用プローブを実現する。【解決手段】 本発明に係る導電性走査型顕微鏡用プローブ20は、カンチレバー4に固着された導電性ナノチューブ探針12の先端14aにより試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、前記カンチレバー4の表面に形成された導電性被膜17と、カンチレバー4の所要部表面に基端部16を接触配置された導電性ナノチューブ12と、この導電性ナノチューブ12の基端部16から前記導電性皮膜17の一部を被覆して導電性ナノチューブ12を固定する導電性堆積物18から構成され、導電性ナノチューブ12と導電性被膜17を導電性堆積物18により導通状態にすることを特徴としている。
Claim (excerpt)：
カンチレバー4に固着された導電性ナノチューブ探針12の先端14aにより試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、前記カンチレバー4の表面に形成された導電性被膜17と、カンチレバー4の所要部表面に基端部16を接触配置された導電性ナノチューブ12と、この導電性ナノチューブ12の基端部16から前記導電性皮膜17の一部を被覆して導電性ナノチューブ12を固定する導電性堆積物18から構成され、導電性ナノチューブ12と導電性被膜17を導電性堆積物18により導通状態にしたことを特徴とする導電性走査型顕微鏡用プローブ。
IPC (4)：
G01N 13/16
, B82B 1/00
, B82B 3/00
, G12B 21/08
G01N 13/16 C
, B82B 1/00
, B82B 3/00
, G12B 1/00 601 D
Cited by applicant (3)
Cited by examiner (3)
Article cited by the Patent：
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