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J-GLOBAL ID：200903022463193117
炭素原子クラスターイオン生成装置及び炭素原子クラスターイオンの生成方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999073589
Publication number (International publication number)：2000268741
Application date： Mar. 18, 1999
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：
【要約】【課題】 サイズの揃った炭素クラスターイオンを効率よく生成させるとともに、小型で消費電力の小さい炭素クラスターイオン生成装置及び炭素クラスターイオン生成方法を提供する。【解決手段】 炭素原子クラスターイオン源を真空チャンバー7にセットし、真空チャンバー7を真空排気した後、加熱装置1に通電し、カーボンナノチューブ2を加熱し、加速電圧+E1 と引出電圧-E2 を調節してナノチューブ2を構成する炭素原子をクラスターの状態で電界蒸発させる。その時、電界蒸発した炭素原子クラスターは既にイオン化しており、真空中に放出される。これまでに、サイズの揃った炭素原子クラスターイオン(特にC20)を効率よく生成し、炭素原子以外の不純物イオンの生成が抑えられることが確認されている。
Claim (excerpt)：
炭素原子クラスターイオン生成装置において、(a)電気的に絶縁された加熱装置と、(b)該加熱装置によって真空雰囲気で加熱されるカーボンナノチューブと、(c)引出電極とを備え、(d)前記カーボンナノチューブに所望の正の加速電圧を印加し、前記引出電極に負の電圧を印加し、炭素原子がクラスターの状態で電界蒸発して、該電界蒸発した炭素原子クラスターは、イオン化され、イオンビームとして真空中に放出されるように構成したことを特徴とする炭素原子クラスターイオン生成装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (3)：
5C030DF01
, 5C030DF02
, 5C030DG03
