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J-GLOBAL ID：200903020175663807
走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料の観察方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
井上 学
, 戸田 裕二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007322722
Publication number (International publication number)：2008256672
Application date： Dec. 14, 2007
Publication date： Oct. 23, 2008
Summary：
【課題】 開口プローブを用いた近接場走査顕微鏡では実用上数十nmの開口形成が限界であり、また散乱プローブ用いた近接場走査顕微鏡では外部照明光が背景雑音となり、数十ナノメートルが分解能の限界であった。またプローブの損傷や磨耗により測定再現性が著しく低かった。【解決手段】 ナノメートルオーダの円筒形構造とナノメートルオーダの微小粒子を組み合わせて、ナノメートルオーダの光学分機能を有するプラズモン増強近接場プローブを構成し、試料上の各測定点で低接触力での接近・退避を繰り返すことにより、プローブと試料の双方にダメージを与えることなく、ナノメートルオーダの分解能でかつ高い再現性で、試料表面の光学情報及び凹凸情報を測定する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
内部が中空で該中空な内部に金属粒子もしくは金属ロッドが埋め込まれた測定探針と、該
測定探針を支持するカンチレバーと、該カンチレバーを駆動して前記測定探針を検査対象
試料に対して相対的に3次元的に走査するカンチレバー駆動手段と、該カンチレバーの変
形を検出する変位検出光学系手段と、前記金属粒子もしくは金属ロッドが埋め込まれた測
定探針と前記検査対象試料表面との間に近接場光を発生させて前記検査対象試料表面の近
接場光画像を取得する近接場光画像取得手段とを備えたことを特徴とする走査プローブ顕
微鏡。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N13/14 101B
, G01N13/10 111K
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (6)
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