表面弾性波素子とその製造方法

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：柏谷昭司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993268542
Publication number (International publication number)：1995122961
Application date： Oct. 27, 1993
Publication date： May. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】表面弾性波素子とその製造方法に関し、Al-Cu多層電極材料の粒径を小さくしたまま、膜中の亀裂やボイドが発生するのを阻止して長寿命の表面弾性波素子を提供する。【構成】圧電性のLiTaO3 基板1の上に、少なくとも銅が添加されたAl-1%Cu膜2,7とCu膜6を交互に形成し、この多層膜をパターニングして電極を形成する。また、圧電性のLiTaO3 基板1の上に、少なくとも銅が添加されたAl-1%Cu膜2,7とCu膜6を200°Cを超えない温度で形成し、その後の工程も200°Cを超えない温度に保つことによって、Al結晶粒3,8が大きく成長するのを阻止し、結晶粒界4,9と、Al-1%Cu膜2,7とCu膜6の界面にCuAl2 5,10を形成してAlのストレスマイグレーションを低減して長寿命化する。

Claim (excerpt)：

圧電基板の上に、少なくとも銅が添加されたアルミニウム合金の膜と銅の膜が交互に積層された電極が形成されたことを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (3)：

H03H 9/145 , H01L 21/60 , H03H 3/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

弾性表面波素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-064522 Applicant：松下電器産業株式会社
弾性表面波素子とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-014742 Applicant：株式会社日立製作所
弾性表面波素子の電極材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-359072 Applicant：株式会社村田製作所

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