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J-GLOBAL ID：200903020269747680

固体撮像素子

Inventor：
友澤 淳

About 友澤 淳

, 
鳥井 秀雄

About 鳥井 秀雄


Applicant, Patent owner：
松下電器産業株式会社

About 松下電器産業株式会社


Agent (1)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004330810
Publication number (International publication number)：2006140413
Application date： Nov. 15, 2004
Publication date： Jun. 01, 2006
Summary：
【課題】 受光部への集光効率が高く、クロストークが少ない固体撮像装置を提供する。【解決手段】 表面に2次元に配置された複数個の受光部100を備える基板130上に絶縁膜101aが設けられる。絶縁膜に対して受光部とは反対側であって、受光部が配置された領域以外の絶縁膜の領域の上方に層間絶縁膜102が設けられ、受光部が配置された領域に対応する絶縁膜上の領域に、層間絶縁膜に囲まれて、層間絶縁膜よりも屈折率の高い材料によりなる光導波路1が設けられる。光導波路上に集光レンズ2、カラーフィルター3が順に設けられる。集光レンズと受光部との距離が短くなり、光導波路内に斜め入射した光は層間絶縁膜との界面で全反射して受光部に達するため、集光効率が向上し、クロストークが低減する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
表面に2次元に配置された複数個の受光部を備える基板と、 前記基板上に設けられた絶縁膜と、 前記絶縁膜に対して前記受光部とは反対側であって、前記受光部が配置された領域以外の前記絶縁膜の領域の上方に設けられた層間絶縁膜と、 前記絶縁膜に対して前記受光部とは反対側であって、前記受光部が配置された領域に対応する前記絶縁膜の領域上に、前記層間絶縁膜に囲まれて設けられた、前記層間絶縁膜よりも屈折率の高い材料によりなる光導波路と、 前記光導波路上に設けられた集光レンズと、 前記集光レンズの表面上に設けられたカラーフィルターと を備えることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2)：
H01L 27/14 ,  G02B 5/20
FI (2)：
H01L27/14 D ,  G02B5/20 101
F-Term (25)：
2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BB02 ,  2H048BB10 ,  2H048BB46 ,  4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118FA33 ,  4M118GA09 ,  4M118GB06 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GB18 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GC17 ,  4M118GC20 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)

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