感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩見谷周志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996199622
Publication number (International publication number)：1998026829
Application date： Jul. 10, 1996
Publication date： Jan. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】アルカリ性水溶液で現像でき、その感度が高く、かつ解像度に優れた感放射線性を有し、しかも、絶縁性、平坦性、耐熱性、耐溶剤性、透明性等の諸性能に優れるのみならず、低誘電率であるパターン状薄膜を容易に形成することができる、感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】(A)ラジカル重合性(フッ素化)炭化水素(a)に由来する構造単位、不飽和カルボン酸(b)に由来する構造単位、酸により分解され、カルボキシル基を生じる不飽和カルボン酸エステル(c)に由来する構造単位、およびカルボキシル基と反応し架橋を形成しうる官能基を有するラジカル重合性化合物(d)に由来する構造単位を含有する共重合体と、(B)感放射性酸発生剤とを含有する組成物であって、該組成物を硬化して得られる硬化物の比誘電率が3以下である感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(A)ラジカル重合性(フッ素化)炭化水素(a)に由来する構造単位、不飽和カルボン酸(b)に由来する構造単位、酸により分解され、カルボキシル基を生じる不飽和カルボン酸エステル(c)に由来する構造単位、およびカルボキシル基と反応し架橋を形成しうる官能基を有するラジカル重合性化合物(d)に由来する構造単位を含有する共重合体と、(B)感放射性酸発生剤とを含有する組成物であって、該組成物を硬化して得られる硬化物の比誘電率が3以下である感放射線性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/039 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/312 , H01L 21/768 , H01L 21/31 , H01L 29/786

FI (7)：

G03F 7/039 , G03F 7/004 503 , G03F 7/033 , H01L 21/312 D , H01L 21/90 S , H01L 21/95 , H01L 29/78 619 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

レジスト材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-071337 Applicant：信越化学工業株式会社
感光性組成物及びパターンの形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-099139 Applicant：関西ペイント株式会社

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