試料からの多重チャネル応答を用いた試料の光学的検査

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996229036
Publication number (International publication number)：1998090192
Application date： Aug. 29, 1996
Publication date： Apr. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】 2つ以上の独立な検査応答についてデータ処理を施し、欠陥の存在を決定して効果的な欠陥検査を実行する。【解決手段】検査装置は、第1パターンの同一点を照射する暗視野照明系及び明視野照明系10,12と、暗視野に於ける第1パターンの反射像を検出する暗視野像検出器16′と、明視野に於ける第1パターンの反射像を検出する明視野像検出器16と、第2パターンの暗視野に於ける反射像と比較して暗視野差分信号を形成する暗視野比較器22と、第2パターンの明視野に於ける反射像と比較して明視野差分信号を形成する明視野比較器22と、その暗明、両差分信号をデータプロセスして一元的に第1パターンの欠陥リストを形成するデータプロセッサ24とにより有機的に構成される。

Claim (excerpt)：

サンプル上の第1パターンに存在する欠陥を同じサンプル上の同一デザインで作られた第2パターンの既知の暗明、両視野に於ける反射像を参照して探索する方法であって、a)前記第1パターンの同一点を明視野光源と暗視野光源にてそれぞれ照明するステップと、b)前記第1パターンから反射して得られる暗視野反射像を検出するステップと、c)前記第1パターンから反射して得られる明視野反射像を検出するステップと、d)前記ステップ b)で得た暗視野反射像を前記第2パターンの同一点に於てその暗視野反射像と比較して両画像の差分信号を生成するステップと、e)前記ステップ c)で得た明視野反射像を前記第2パターンの明視野反射像と比較して両画像の差分信号を形成するステップと、f)前記ステップ d)と e)で得られた暗明の両視野に於ける反射像の差分信号をデータ処理して一元的に第1パターンの1つの欠陥リストを決定するステップとを具備することを特徴とする自動的欠陥検査方法。

IPC (2)：

G01N 21/88 , H01L 21/66

FI (3)：

G01N 21/88 J , G01N 21/88 E , H01L 21/66 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭58-204344
特開平3-165534
特開昭61-029712

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