液晶表示装置とその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999164223
Publication number (International publication number)：2000305113
Application date： Apr. 22, 1999
Publication date： Nov. 02, 2000
Summary：

【要約】【目的】アクティブマトリックス型液晶表示装置で、視野角特性が良好で、製造コストの安い、表示ムラの少ない高品質大画面画像を実現する。【構成】少なくとも一方が透明な一対の基板と、前記基板間に、はさまれた液晶組成物層と、前記基板のいずれか一方の基板の向き合った表面に、マトリックス状に配置された複数の走査線と、映像信号配線、および画素電極およびアクティブ素子を備えた液晶表示装置において、前記走査、または、走査線と共通電極の両方が、紫外線を用いた無電界銅メッキプロセスで形成されることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

少なくとも一方が透明な一対の基板と、前記基板間に、はさまれた液晶組成物層と、前記基板のいずれか一方の基板の向き合った表面にマトリックス状に配置された複数の走査線と映像信号配線、および画素電極およびアクティブ素子を備えた液晶表示装置において、前記走査線を形成するプロセスとして次の行程を用いることを特徴とする製造方法。i)基板の上に酸化チタン膜または酸化亜鉛膜または酸化チタンと酸化亜鉛の複合酸化膜を形成する。ii)その上にパラジウムイオンまたは銀イオンまたはルテニウムイオンを吸着する。iii)走査線用のホトマスクを用いて紫外線を照射する。iv)紫外線の照射されなかった領域の金属イオンを洗い流す。v)走査線の形状に還元された金属を足場として無電界メッキ法を用いて銅または、銀またはルテニウムを成長させる。

IPC (7)：

G02F 1/1365 , G02F 1/1335 505 , G02F 1/1343 , G09F 9/30 338 , H01L 21/288 , H01L 21/3205 , H01L 29/786

FI (7)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1335 505 , G02F 1/1343 , G09F 9/30 338 , H01L 21/288 Z , H01L 21/88 M , H01L 29/78 612 C

F-Term (104)：

2H091FB02 , 2H091FC23 , 2H091FC26 , 2H091FC27 , 2H091GA13 , 2H091HA07 , 2H091LA07 , 2H091LA12 , 2H091LA15 , 2H091LA19 , 2H092HA20 , 2H092JA24 , 2H092JA34 , 2H092JA47 , 2H092JB22 , 2H092JB31 , 2H092JB52 , 2H092JB57 , 2H092KA05 , 2H092KB24 , 2H092MA05 , 2H092MA08 , 2H092MA09 , 2H092MA14 , 2H092MA15 , 2H092MA17 , 2H092MA18 , 2H092MA19 , 2H092NA01 , 2H092NA14 , 2H092NA27 , 2H092NA29 , 2H092PA01 , 2H092PA08 , 2H092QA07 , 4M104BB04 , 4M104BB07 , 4M104BB08 , 4M104DD21 , 4M104DD52 , 4M104DD53 , 4M104GG20 , 5C094AA12 , 5C094AA14 , 5C094AA21 , 5C094AA33 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094AA53 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094CA24 , 5C094DA13 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094EB02 , 5C094ED03 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FB01 , 5C094FB02 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094GB10 , 5C094JA05 , 5C094JA08 , 5F033HH07 , 5F033HH08 , 5F033HH11 , 5F033HH14 , 5F033HH21 , 5F033HH32 , 5F033MM08 , 5F033MM15 , 5F033PP27 , 5F033PP28 , 5F033RR03 , 5F033RR04 , 5F033SS26 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033WW00 , 5F033WW02 , 5F110AA01 , 5F110AA16 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110DD12 , 5F110DD17 , 5F110EE03 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110FF24 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG45 , 5F110HK09 , 5F110HK25 , 5F110QQ10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

配線の形成方法及び配線基板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-047941 Applicant：富士通株式会社
液晶表示装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-262055 Applicant：株式会社日立製作所
液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-163269 Applicant：株式会社日立製作所, 日立デバイスエンジニアリング株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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