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J-GLOBAL ID：200903020752922167

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 橋谷 龍紀 ,  西尾 寿浩 ,  宇高 友広 ,  遠藤 昌之
Applicant, Patent owner： ジェイエスアール株式会社
Agent (1)： 大井 正彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997211735
Publication number (International publication number)：1999052560
Application date： Aug. 06, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高い感放射線性を有し、しかも、耐溶剤性、透明性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)(a)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物に由来する構成成分、(b)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成成分、および(c)その他のオレフィン系不飽和化合物に由来する構成成分からなるアルカリ可溶性樹脂と、(B)1,2-キノンジアジド化合物と、(C)窒素含有架橋剤とが含有されてなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

(A)(a)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物に由来する構成成分、(b)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成成分、および(c)その他のオレフィン系不飽和化合物に由来する構成成分からなるアルカリ可溶性樹脂と、(B)1,2-キノンジアジド化合物と、(C)窒素含有架橋剤とが含有されてなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-350470   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-065454   Applicant：日本合成ゴム株式会社
• 段差基板用塗布溶液
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-296585   Applicant：東ソー株式会社
• マイクロレンズ用感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-135895   Applicant：東ソー株式会社