表面欠陥検査装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：北村修一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005168149
Publication number (International publication number)：2006343185
Application date： Jun. 08, 2005
Publication date： Dec. 21, 2006
Summary：

【課題】被検査面に存在する欠陥に対して照射光の回り込みを四方八方から生じさせるような照明を用いながらも欠陥の誤検出が抑制された表面検査技術を提供する。【解決手段】複数の発光素子から構成された照明部による照射光によって照明された被検査面に対する撮像カメラ4の出力信号を評価して被検査面における欠陥を検知する欠陥評価手段6とからなる表面欠陥検査装置。欠陥評価手段が、出力信号から生成された画像データに対して輪郭強調処理を施した後平滑化処理を施す欠陥強調処理を少なくとも1回行う前処理部60Aと、この前処理部から出力された画像データから被検査面の明暗画像を生成する明暗画像生成部60Bと、この明暗画像生成部から出力された明暗画像から欠陥を検出する欠陥決定部60Cを備えている。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

連続的に配置された複数の発光素子から構成された照明部と、前記照明部による照射光によって照明された被検査面を撮像する撮像カメラと、前記撮像カメラの出力信号を評価して前記被検査面における欠陥を検知する欠陥評価手段とからなる表面欠陥検査装置において、前記発光素子が内側に所定形状の暗面を残すようなレイアウトパターンで繰り返し配置されており、かつ前記欠陥評価手段が、前記出力信号から生成された画像データに対して輪郭強調処理を施した後平滑化処理を施す欠陥強調処理を少なくとも1回行う前処理部と、この前処理部から出力された画像データから前記被検査面の明暗画像を生成する明暗画像生成部と、この明暗画像生成部から出力された明暗画像から欠陥を検出する欠陥決定部を備えていることを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , G06T 1/00

FI (3)：

G01N21/88 Z , G01B11/30 A , G06T1/00 300

F-Term (51)：

2F065AA01 , 2F065AA49 , 2F065BB05 , 2F065CC11 , 2F065DD04 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF28 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065GG17 , 2F065GG18 , 2F065HH07 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ19 , 2F065LL04 , 2F065NN20 , 2F065PP15 , 2F065QQ04 , 2F065QQ21 , 2F065QQ23 , 2F065QQ24 , 2F065QQ33 , 2F065QQ37 , 2F065QQ39 , 2F065QQ42 , 2F065RR05 , 2F065RR09 , 2F065SS06 , 2F065SS13 , 2F065SS14 , 2F065UU01 , 2F065UU05 , 2G051AA89 , 2G051AB12 , 2G051BA01 , 2G051BA20 , 2G051CA04 , 2G051EA11 , 2G051EA16 , 2G051EC05 , 2G051ED01 , 2G051ED22 , 5B057AA04 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CE03 , 5B057CE05 , 5B057CH01 , 5B057DA03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

被検査面の欠陥検査方法およびその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-025090 Applicant：日産自動車株式会社
塗膜平滑性検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-287131 Applicant：日産自動車株式会社

Cited by examiner (5)

欠陥検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-280970 Applicant：東芝エンジニアリング株式会社
欠陥検出方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-016803 Applicant：東芝エンジニアリング株式会社
表面欠陥の検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-026110 Applicant：日産自動車株式会社

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