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J-GLOBAL ID：200903021148459757

画像取り込み装置

Inventor：
松本 勝

About 松本 勝


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998240185
Publication number (International publication number)：2000065753
Application date： Aug. 26, 1998
Publication date： Mar. 03, 2000
Summary：
【要約】【課題】本発明は、十分な光量で明るさムラのない照明を得られるとともに、良質の画像を取り込むことができる画像取り込み装置を提供する。【解決手段】照明部12により被検査基板11表面を線状に照明し、この線状に照明された領域を撮像部13により撮像するもので、照明部12は、ガラスロッドレンズ121と、ガラスロッドレンズ121周面の軸方向に沿って形成された線状の反射面122を有し、ガラスロッドレンズ121の両端面より光源121a、121bを照射し、ガラスロッドレンズ121内部を全反射しながら進む光に対して反射面122で散乱される光を照明光としている。
Claim (excerpt)：
照明手段により標本表面を線状に照明し、この線状に照明された領域を撮像手段により撮像することで前記標本表面の画像を取り込む画像取り込み装置において、前記照明手段は、ガラスロッドレンズと、該ガラスロッドレンズ周面の軸方向に沿って形成された線状の反射面と、前記ガラスロッドレンズの少なくとも一方の端面から照射される光源を有し、前記ガラスロッドレンズ内部を全反射しながら進む光に対して前記反射面で散乱される光を線状照明光として出射することを特徴とする画像取り込み装置。
IPC (3)：
G01N 21/89 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/88
FI (3)：
G01N 21/89 A ,  G01N 21/84 E ,  G01N 21/88 E
F-Term (9)：
2G051AA51 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BB01 ,  2G051BB09 ,  2G051CA03 ,  2G051CB06 ,  2G051DA06 ,  2G051FA02
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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