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J-GLOBAL ID：200903076802847957

表面欠陥検査装置

Inventor：
松沢 聡明

About 松沢 聡明


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995213088
Publication number (International publication number)：1997061365
Application date： Aug. 22, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：
【要約】【課題】 装置自体を大型化することなく、被検体の大型化にも対応することができる表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 光源から導いた光をライン状にし、角度θ0 で被検体31表面を照明するように配置した照明部30と、被検体31表面からの正反射光を撮像するために角度θ0 の位置に配置した第1の撮像部35bと、被検体31表面からの回折光を撮像するために垂直な位置に配置した第2の撮像部35aと、被検体31表面からの散乱光を撮像するために角度θ1 の位置に配置した第3の撮像部35cと、照明部30及び第1,第2,第3の撮像部35b,35a,35cと被検体31を相対的に移動させる被検体移送手段と、被検体移送手段を制御する制御手段と、第1,第2,第3の撮像部35b,35a,35cで撮像した画像データを処理する画像処理手段とを具備した。
Claim (excerpt)：
光源と、光源から導いた光をライン状にし、角度θ<SB>0 </SB>で被検体表面を照明するように配置した照明手段と、照明手段による被検体表面からの正反射光を撮像するために角度θ<SB>0 </SB>の位置に配置した第1の撮像手段と、照明手段による被検体表面からの回折光を撮像するために被検体に対して垂直な位置に配置した第2の撮像手段と、照明手段による被検体表面からの散乱光を撮像するために角度θ<SB>1 </SB>(θ<SB>0 </SB><θ<SB></SB><SB>1 </SB>)の位置に配置した第3の撮像手段と、照明手段及び第1,第2,第3の撮像手段と被検体を相対的に移動させる被検体移送手段と、被検体移送手段を制御する制御手段と、第1,第2,第3の撮像手段で撮像した画像データを処理する画像処理手段とを具備したことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/88 ,  G01N 21/47 ,  G06T 7/00
FI (5)：
G01N 21/88 E ,  G01N 21/88 D ,  G01N 21/88 J ,  G01N 21/47 A ,  G06F 15/62 405 A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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