ポストプラズマを用いる窒化方法および窒化装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：亀谷美明 , 金本哲男 , 萩原康司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006177389
Publication number (International publication number)：2007191784
Application date： Jun. 27, 2006
Publication date： Aug. 02, 2007
Summary：

【課題】迅速な窒化工程を行い、窒化能を向上させる、ポストプラズマを用いる窒化方法および装置を提供する。【解決手段】窒化方法は、炉の内部に試片を装入して加熱し、試片の外部で発生したプラズマに気体を通過させて試片を窒化する方法であって、試片の外部に設置されたスクリーン網にプラズマを生成させた後、酸化及び還元性気体によって試片表面の残留ガス及び不純物を除去する表面活性化工程と、表面活性化工程を経た試片に、窒素と水素と窒化促進剤を混合した窒化剤を投入して窒化する窒化層形成工程と、炉の内部温度を降下させて、窒化層形成工程を経た試片を冷却する冷却工程とを含む。窒化装置は、炉の内部に試片を装入して加熱し、試片の外部で発生したプラズマに気体を通過させて試片を窒化する装置であって、試片の外部に、プラズマが生成されるスクリーン網が設置され、スクリーン網の外側には、複数のガスホールを持つガス管が設置される。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

炉の内部に試片を装入して加熱し、前記試片の外部で発生したプラズマに気体を通過させて前記試片を窒化する方法において、前記試片の外部に設置されたスクリーン網にプラズマを生成させた後、酸化および還元性気体によって前記試片の表面の残留ガスおよび不純物を除去する表面活性化工程と; 前記表面活性化工程を経た前記試片に、窒素と水素と窒化促進剤とを混合してなる窒化剤を投入して、前記試片を窒化する窒化層形成工程と; 前記炉の内部温度を降下させて、前記窒化層形成工程を経た前記試片を冷却する冷却工程と; を含むことを特徴とする、ポストプラズマを用いる窒化方法。

IPC (2)：

C23C 8/38 , C23C 8/02

FI (2)：

C23C8/38 , C23C8/02

F-Term (4)：

4K028BA02 , 4K028BA12 , 4K028BA21 , 4K028BA22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平2-238626
特開昭61-270837
特開昭60-211061

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