転写方法及び転写装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：小川勝男 , 田中恭助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003397108
Publication number (International publication number)：2005153091
Application date： Nov. 27, 2003
Publication date： Jun. 16, 2005
Summary：

【課題】転写装置において、より高速で高精度な転写を行うことを目的とする。【解決手段】基板上に微細構造を形成するために、表面に微細な凹凸が形成されたスタンパを、基板表面上に接触、加圧する転写装置において、スタンパと基板を加圧する工程と基板からスタンパを剥離する工程が独立したユニットから構成され、加圧工程から剥離工程に移動する際、スタンパと基板が密着した状態で移動され、好ましくは、少なくとも2組のスタンパと基板が同時または時間的に重なるように異なる工程で処理される転写装置。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

表面に微細凹凸構造が形成されたスタンパを、必要に応じ軟質性を保持し得る材料からなる表面を有する基板に接触・加圧して該表面に上記微細凹凸構造を転写する工程、及び該表面から該スタンパを剥離する工程を含み、上記スタンパと上記基板を一体として上記工程間を移動することを特徴とする微細構造転写方法。

IPC (2)：

B81C5/00 , B29C43/02

FI (2)：

B81C5/00 , B29C43/02

F-Term (6)：

4F204AA44 , 4F204FA01 , 4F204FB01 , 4F204FF01 , 4F204FN15 , 4F204FN17

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

米国特許5,259,926号公報
米国特許5,772,905号公報
歯科治療装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-167283 Applicant：株式会社モリタ東京製作所

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Cited by examiner (11)

転写装置、転写用カートリッジ、及び転写方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-293621 Applicant：株式会社東芝
多層記録媒体の形成方法および装置、ならびに多層記録媒体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-133743 Applicant：TDK株式会社
加飾成形方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-052644 Applicant：松下電器産業株式会社

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