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J-GLOBAL ID：200903021776224343

走査型顕微鏡装置

Inventor：
伊藤 彰義

About 伊藤 彰義

, 
中川 活二

About 中川 活二


Applicant, Patent owner：
日立マクセル株式会社

About 日立マクセル株式会社


Agent (1)： 川北 喜十郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996024696
Publication number (International publication number)：1997196928
Application date： Jan. 18, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：
【要約】【課題】 被観測面の磁化状態を変化させることなく被観測面の磁化特性を原子レベルで正確に観測することができ、被観側面のモフォロジーに依存せずに磁性のみを独立して観測することができる走査型顕微鏡装置を提供する。【解決手段】 探針40を被観測面5上で走査しながら、探針40と被観測面5との間の磁力を観測することによって被観測面の磁性を観測する走査型顕微鏡である。探針40に漏洩磁界が発生しない反強磁性的結合状態の磁性人工格子材料を用いる。また、探針40中に光導波路を設け且つ先端に磁性層を形成することもできる。光源48からの光を光導波路を通じて磁性層に集光させキュリー温度以上に加熱しながら観測することでモフォロジーに起因する力だけを観測し、光を照射しない場合の観測値から差し引いて磁性に起因する力を求める。
Claim (excerpt)：
探針を被観測面上で走査しながら、探針と被観測面との間を流れるトンネル電流または探針と被観測面との間に働く相互作用による力を観測することによって被観測面の物性を観測する走査型顕微鏡装置において、上記探針に反強磁性的結合状態の磁性人工格子材料を用いたことを特徴とする走査型顕微鏡装置。
IPC (4)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01R 33/10 ,  G01R 33/12
FI (6)：
G01N 37/00 A ,  G01N 37/00 C ,  G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  G01R 33/10 ,  G01R 33/12 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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