ウエハ移載装置および移載方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：京本直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997044142
Publication number (International publication number)：1998242237
Application date： Feb. 27, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】ウエハを縦型炉内で熱処理する際、ウエハ面内の温度や応力の分布にムラが生じないようにするためのウエハ保持板を備えたリングボ-ト及びそのリングボ-トを用いたウエハ移載装置と移載方法を提供する。【解決手段】ウエハ保持板1が着脱可能なリングボ-ト6を用いて、ウエハの移載をボ-ト上ではなく動作機構を有しない固定ブロック9と固定ピン10からなるプリセット部8を設けて行う。ウエハ2は、このプリセット部8の固定ブロック9にウエハ保持板1を置くだけで固定ピン10に突き上げられ、ウエハ2とウエハ保持板1との間に移載用フォ-ク3を挿入する隙間ができる。ここに移載用フォ-ク3を挿入してウエハ2を持ち上げ、プリセット部8とキャリア11間の搬送を行う。また、リングボ-ト6とプリセット部8間の搬送は、移載用フォ-ク3にてウエハ保持板1を持ち上げて行う。

Claim (excerpt)：

ウエハを水平等間隔に収納するキャリアと、ウエハを水平等間隔に収納し縦型炉に出し入れするリングボ-トと、前記キャリアと前記リングボ-トとの間でウエハの受け渡しを行う上下、前後、旋回動作可能な移載用フォ-クとを有するウエハ移載装置において、前記キャリアと前記リングボ-トとの中間位置にウエハの移載を行うプリセット部を設けたことを特徴とするウエハ移載装置。

IPC (2)：

H01L 21/68 , H01L 21/22 511

FI (2)：

H01L 21/68 A , H01L 21/22 511 J

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-207257 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
特開平3-211749
ウエハの移載装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-188340 Applicant：東京エレクトロン相模株式会社

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