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J-GLOBAL ID：200903022213862048

感光性樹脂組成物および感光性耐熱性樹脂前駆体組成物

Inventor： 富川 真佐夫 ,  吉田 智之 ,  三浦 康男
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998002943
Publication number (International publication number)：1999202490
Application date： Jan. 09, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】光波長において透明でないポリマーを用いた感光性材料においても、美しいパターンプロファイルが得ることが出来、かつ加工時の雰囲気の影響を受けにくい、感光性樹脂組成物、感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)フェノール性水酸基を有するポリマーと、(b)オルトナフトキノンジアジド化合物と(c)露光波長に吸収があり、露光波長より長波長側にて発光する化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

(a)フェノール性水酸基を有するポリマーと、(b)オルトナフトキノンジアジド化合物と(c)露光波長に吸収があり、露光波長より長波長側で発光する化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4)：

G03F 7/039 501 ,  C08L 79/08 ,  C09D179/08 ,  G03F 7/022

FI (4)：

G03F 7/039 501 ,  C08L 79/08 A ,  C09D179/08 A ,  G03F 7/022

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特開平4-303840
  
• 感光性ポリイミド前駆体組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-111667   Applicant：東レ株式会社
• 半導体素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-273192   Applicant：東レ株式会社
• i線用光吸収剤
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-065898   Applicant：株式会社日本感光色素研究所
• 特開平2-010351
  
• ポジ型感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-165320   Applicant：住友ベークライト株式会社