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J-GLOBAL ID：200903022376467472
ポリマーシートの製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (2)：
梶山 佶是
, 山本 富士男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004021720
Publication number (International publication number)：2005214798
Application date： Jan. 29, 2004
Publication date： Aug. 11, 2005
Summary：
【課題】 貫通穴を形成する際、“バリ”を生じないポリマーシートの製造方法を提供する。【解決手段】 複数個の貫通穴を有するポリマーシートの製造方法において、(a)基板上に塗布されたレジスト膜を所定のパターンを有するマスクを通して露光するステップと、(b)前記露光レジストを現像してマスターを形成するステップと、(c)前記マスターにポリジメチルシロキサン(PDMS)プレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、(d)前記マスターから硬化PDMSモールドを剥離するステップと、(e)前記PDMSモールドをガラス基板に接着させるステップと、(f)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体にPDMSプレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、(g)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体からPDMSモールドとガラス基板を引き剥がし、生成された貫通穴付きPDMSシートを回収するステップとからなることを特徴とするポリマーシートの製造方法。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
複数個の貫通穴を有するポリマーシートの製造方法において、
(a)基板上に塗布されたレジスト膜を所定のパターンを有するマスクを通して露光するステップと、
(b)前記露光レジストを現像してマスターを形成するステップと、
(c)前記マスターにポリジメチルシロキサン(PDMS)プレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、
(d)前記マスターから硬化PDMSモールドを剥離するステップと、
(e)前記PDMSモールドをガラス基板に接着させるステップと、
(f)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体にPDMSプレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、
(g)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体からPDMSモールドとガラス基板を引き剥がし、生成された貫通穴付きPDMSシートを回収するステップとからなることを特徴とするポリマーシートの製造方法。
IPC (3)：
G01N37/00
, C12M1/00
, C12N5/06
G01N37/00
, G01N37/00 101
, C12M1/00 A
, C12N5/00 E
4B029AA08
, 4B029BB11
, 4B029GA03
, 4B029GB09
, 4B065AA90X
, 4B065BC18
, 4B065CA46
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (2)
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