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J-GLOBAL ID：200903022664543841

ガラス状カーボン被膜を有するシリカガラス部材

Inventor： 剣持 克彦 ,  ディートマ・ヘルマン
Applicant, Patent owner： 信越石英株式会社 ,  ヘラウス・クワルツグラス・ゲーエムベーハー
Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995262012
Publication number (International publication number)：1997086964
Application date： Sep. 18, 1995
Publication date： Mar. 31, 1997
Summary：

【要約】【目的】本発明は、高い表面硬度、耐熱性及び耐プラズマ性を有するシリカガラス部材、特に半導体素子のプラズマエッチング処理等において発塵がない半導体素子製造用シリカガラス治具を提供することを目的とする。【構成】表面がガラス状カーボンで被覆されたことを特徴とするシリカガラス部材。

Claim (excerpt)：

表面がガラス状カーボンで被覆されたことを特徴とするシリカガラス部材。

IPC (4)：

C03C 17/22 ,  C03C 15/00 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/203

FI (4)：

C03C 17/22 Z ,  C03C 15/00 E ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• プラズマエッチング電極、その治具及びそれらの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-265773   Applicant：日清紡績株式会社
• 特開平4-209781
  
• 特開平3-187954
  
• ガラス状カーボン膜を有するCVD成膜用シリカガラス治具及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-260925   Applicant：信越石英株式会社, ヘラウス・クワルツグラス・ゲーエムベーハー
• 特開平1-305835