誘電体膜の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：栗原浩之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004282488
Publication number (International publication number)：2006049792
Application date： Sep. 28, 2004
Publication date： Feb. 16, 2006
Summary：

【課題】比較的容易に結晶状態を制御し、常に安定した特性が得られる誘電体膜の製造方法及び圧電素子の特性を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】有機金属化合物のゾルを塗布して誘電体前駆体膜を形成する塗布工程と、該誘電体前駆体膜を乾燥する乾燥工程と、前記誘電体前駆体膜を脱脂する脱脂工程と、前記誘電体前駆体膜を焼成して誘電体膜とする焼成工程とを有する誘電体膜の製造方法であって、乾燥工程が、誘電体前駆体膜をゾルの主溶媒である溶剤の沸点よりも低い温度に加熱して一定時間保持することで乾燥させる第1の乾燥工程と、誘電体前駆体膜を再加熱して一定時間保持することでさらに乾燥させる第2の乾燥工程とを実施する。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

有機金属化合物のゾルを塗布して誘電体前駆体膜を形成する塗布工程と、該誘電体前駆体膜を乾燥する乾燥工程と、前記誘電体前駆体膜を脱脂する脱脂工程と、前記誘電体前駆体膜を焼成して誘電体膜とする焼成工程とを有し、前記乾燥工程が、前記誘電体前駆体膜を前記ゾルの主溶媒である溶剤の沸点よりも低い温度に加熱して一定時間保持することで乾燥させる第1の乾燥工程と、前記誘電体前駆体膜を再加熱して一定時間保持することでさらに乾燥させる第2の乾燥工程とを有することを特徴とする誘電体膜の製造方法。

IPC (7)：

H01L 41/22 , H01L 21/316 , B41J 2/16 , H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/18 , H01L 41/24

FI (9)：

H01L41/22 Z , H01L21/316 P , B41J3/04 103H , H01L41/08 J , H01L41/18 101B , H01L41/18 101C , H01L41/18 101D , H01L41/18 101Z , H01L41/22 A

F-Term (6)：

2C057AP14 , 2C057AP57 , 2C057BA14 , 5F058BF46 , 5F058BH01 , 5F058BJ10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

圧電体薄膜およびその製造法ならびにそれを用いたインクジェット記録ヘッド
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-032346 Applicant：セイコーエプソン株式会社

Cited by examiner (5)

セラミックスの焼成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-080449 Applicant：日本碍子株式会社
加熱炉及びその運転方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-052292 Applicant：日本碍子株式会社, 日本ファーネス工業株式会社
圧電体薄膜あるいは強誘電体薄膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-312932 Applicant：セイコーエプソン株式会社

Show all

Return to Previous Page