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J-GLOBAL ID：200903023302034899

プラズマ生成装置

Inventor：
ミヒャエル リール

About ミヒャエル リール


Applicant, Patent owner：
ライボルト システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

About ライボルト システムズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング


Agent (1)： 矢野 敏雄 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1999500213
Publication number (International publication number)：2000515678
Application date： May. 25, 1998
Publication date： Nov. 21, 2000
Summary：
【要約】交番電磁界を用いて真空室(3)にプラズマを生成するための装置であって、絶縁材料から成る管(5)内にロッド形状の導体(4)が真空室(3)を通ってガイドされておりかつ該絶縁管(5)の内径は前記導体(4)の直径より大きく、かつ前記絶縁管(5)は両端部が真空室(3)の壁(6,7)に保持されかつ該壁(6,7)に対してその外周面がシールされておりかつ前記導体(4)は両端部でそれぞれ、交番電磁界を発生するための第1の源(8ないし9)に接続されている形式のものにおいて、前記ロッド形状の導体(4)は両方の壁貫通案内部の領域(10,11)においてそれぞれ、その真ん中の部分(K)の方向において少なくともちよっとだけ離されて、導電材料から成る管部材(12,13)によって間隔を以て取り囲まれており、この場合1つまたは2つの管部材(12,13)は前記絶縁管(5)に対して同心的に配置されておりかつそれぞれ、交番電磁界を発生するための第2の源(14ないし15)に接続されている。
Claim (excerpt)：
交番電磁界を用いて真空室(3)にプラズマを生成するための装置であって、絶縁材料から成る管(5)内にロッド形状の導体(4)が真空室(3)を通ってガイドされておりかつ該絶縁管(5)の内径は前記導体(4)の直径より大きく、かつ前記絶縁管(5)は両端部が真空室(3)の壁(6,7)に保持されかつ該壁(6,7)に対してその外周面がシールされておりかつ前記導体(4)は両端部でそれぞれ、交番電磁界を発生するための第1の源(8ないし9)に接続されている形式のものにおいて、前記ロッド形状の導体(4)は両方の壁貫通案内部の領域(10,11)においてそれぞれ、その真ん中の部分(K)の方向においてちょっとだけ離されて、導電材料から成る管部材(12,13)によって間隔を以て取り囲まれており、この場合該2つの管部材(12,13)は前記絶縁管(5)に対して同心的に配置されておりかつ前記絶縁管(5)およびそれぞれの管部材(12,13)によって形成される円筒形状の中間空間がそれぞれ、交番電磁界を発生するための第2の源(14ないし15)に接続されていることを特徴とする装置。
IPC (2)：
H05H 1/46 ,  H01J 37/32
FI (2)：
H05H 1/46 B ,  H01J 37/32
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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