容器載置ユニット、容器収納装置、及び処理装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：須山佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998291090
Publication number (International publication number)：2000124301
Application date： Oct. 13, 1998
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】デッドスペースを生じることなく多数のキャリアカセットを収容できる容器載置ユニットやそのような容器載置ユニットを備えた処理装置を提供する。【解決手段】キャリアカセットCRからウエハWを出し入れするホームアクセス位置と、外部搬送装置との間でキャリアカセットCRを搬出入するカセット載置部20とを別個に設ける。それにより従来よりよけいにキャリアカセットCRを収納できるようにしてキャリアカセットCRの収納能力を向上させる。その結果容器載置ユニット30の幅を処理ユニット群を収容したスペースの幅と一致させることができるのでデッドスペースがなくなり、スペース効率が向上する。

Claim (excerpt)：

被処理基板を収容する基板容器を載置し、この基板容器内から被処理基板を出し入れする第1の位置と、外部搬送装置との間で前記基板容器の搬出入を行う第2の位置と、前記第1の位置と前記第2の位置との間で前記基板容器を移動させる手段と、を具備することを特徴とする容器載置ユニット。

IPC (3)：

H01L 21/68 , B65D 85/86 , B65G 49/07

FI (3)：

H01L 21/68 V , B65G 49/07 D , B65D 85/38 R

F-Term (22)：

3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096CA02 , 3E096CB03 , 3E096DA05 , 5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031DA17 , 5F031EA12 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031FA09 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031FA14 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031MA07 , 5F031MA26 , 5F031NA02 , 5F031NA10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

カセット搬出入機構及び半導体製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-078914 Applicant：東京エレクトロン株式会社
基板供給装置および基板収容容器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-169627 Applicant：キヤノン株式会社
半導体製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-061813 Applicant：国際電気株式会社

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