センサヘッド、これを具備した輝度分布測定装置、外観検査装置及び表示ムラ検査評価装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：田村敏朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001297876
Publication number (International publication number)：2003106936
Application date： Sep. 27, 2001
Publication date： Apr. 09, 2003
Summary：

【要約】【課題】センサヘッドの構成をユニット化し、センサユニットを小型化し、センサユニットの複数配列し、所定長のセンサヘッドを、検査に必要なパネル画像を高速に得ること。【解決手段】一般的な長さのリニアイメージセンサを含むサブモジュールを複数個、直列又は千鳥状に並列に長さ方向に並べるように構成する。これにより、撮像長さの長いセンサヘッドが得られる。又、上記センサヘッド及び検査パネルを載置するテーブルを走査する。この走査に合わせセンサヘッドの撮像データをメモリに読み込む。この画像データを再構成して輝度分布を測定する。さらに、目視検査に必要とされると同じ視野角の輝度データ画像を高速に複数作製し、画像表示し外観検査を行う。また、上記異なる視野角の画像データを、相互比較することにより、検査パネル表面に発生する構造的な表示ムラ欠陥を検出する。

Claim (excerpt)：

リニアイメージセンサとその受光面にパネル上の撮像対象を等倍に結像するように受光素子撮像点間に配置されたロッドレンズアレイとを含むセンサユニットを構成し、センサユニットの長手方向を平行に、且つ、センサユニットの撮像点を中心軸とし、センサユニットの断面が中心軸に直角な面において中心軸に対して放射状に所定の角度で複数のセンサユニットを配置するサブモジュールを構成し、サブモジュールを複数個長手方向に直列に並べることを特徴とするセンサヘッド。

IPC (5)：

G01M 11/00 , G01J 1/02 , G01J 1/04 , G01J 1/06 , G01N 21/84

FI (6)：

G01M 11/00 T , G01J 1/02 Q , G01J 1/02 T , G01J 1/04 A , G01J 1/06 A , G01N 21/84 Z

F-Term (26)：

2G051AA73 , 2G051AB02 , 2G051AB20 , 2G051CA03 , 2G051CA08 , 2G051CC09 , 2G051DA07 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G065AA02 , 2G065AB23 , 2G065BA04 , 2G065BA33 , 2G065BA34 , 2G065BB03 , 2G065BB06 , 2G065BB46 , 2G065BC07 , 2G065BC11 , 2G065BC19 , 2G065BC31 , 2G065BC33 , 2G065BC35 , 2G065BD01 , 2G065DA20 , 2G086EE10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

平面表示装置の品位検査方法およびその品位検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-301948 Applicant：株式会社堀場製作所, テクノス株式会社
平版印刷版の検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-101512 Applicant：富士写真フイルム株式会社
イメージスキャナー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-005728 Applicant：株式会社フォトロン

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