液晶表示装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：秋田収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001061090
Publication number (International publication number)：2002258324
Application date： Mar. 06, 2001
Publication date： Sep. 11, 2002
Summary：

【要約】【課題】薄膜トランジスタを被う保護膜等のカバレッジを良好にする。【解決手段】基板上の各画素領域に薄膜トランジスタを備える液晶表示装置であって、前記薄膜トランジスタは、前記基板側からゲート電極、絶縁膜、島状からなる半導体層、この半導体層の上面に形成された一対の電極が形成され、前記半導体層の輪郭に相当する側壁がなだらかに形成され、該側壁の前記基板に対する角度が前記一対の電極の互いに対向する側壁の前記基板に対する角度よりも小さく構成されている。

Claim (excerpt)：

基板上の各画素領域に薄膜トランジスタを備える液晶表示装置であって、前記薄膜トランジスタは、前記基板側からゲート電極、絶縁膜、島状からなる半導体層、この半導体層の上面に形成された一対の電極が形成され、前記半導体層の輪郭に相当する側壁がなだらかに形成され、該側壁の前記基板に対する角度が前記一対の電極の互いに対向する側壁の前記基板に対する角度よりも小さく構成されていることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (4)：

G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (5)：

G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , H01L 29/78 612 D , H01L 29/78 616 T , H01L 29/78 618 C

F-Term (48)：

2H092JA26 , 2H092JA29 , 2H092JA38 , 2H092JA42 , 2H092JA46 , 2H092JA47 , 2H092JB22 , 2H092JB31 , 2H092JB57 , 2H092KA19 , 2H092KB14 , 2H092MA13 , 2H092MA18 , 2H092NA15 , 5C094AA21 , 5C094AA31 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA14 , 5C094DA15 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EA07 , 5C094EB02 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5F110AA04 , 5F110AA26 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110EE23 , 5F110FF03 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG22 , 5F110GG26 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK09 , 5F110HK21 , 5F110HK22 , 5F110NN02 , 5F110QQ02 , 5F110QQ03 , 5F110QQ04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

配線用組成物、この組成物を用いた金属配線およびその製造方法、この配線を用いた表示装置およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-045998 Applicant：三星電子株式会社
非晶質シリコン膜のドライエッチング方法及び薄膜トランジスタの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-050117 Applicant：株式会社日立製作所
電子素子及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-020468 Applicant：株式会社フロンテック

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