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J-GLOBAL ID:200903023632191079
非晶質硬質炭素皮膜およびそれを用いた摺動部材
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
村井 卓雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002100725
Publication number (International publication number):2003293136
Application date: Apr. 03, 2002
Publication date: Oct. 15, 2003
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】耐摩耗性に優れるが相手材を摩耗しやすい高Si含有アルミニウム合金に対して優れた摺動特性をもつ非晶質硬質炭素皮膜およびた摺動部材を提供する。【解決手段】CとHを主成分とする非晶質硬質炭素皮膜において、該非晶質硬質炭素皮膜中のH含有量が30〜50at%であり、Hを除いた残りの組成でCが90at%以上であり、Siが5at%未満であり、珪素炭化物を含有する非晶質硬質炭素皮膜。さらに酸素を0.5〜2at%添加すると摩擦係数が安定する。
Claim (excerpt):
炭素と水素を主成分とする非晶質硬質炭素皮膜において、該非晶質硬質炭素皮膜中の水素含有量が30〜50at%であり、水素を除いた残りの組成で炭素が90at%以上であり、珪素が5at%未満であり、珪素炭化物を含有することを特徴とする非晶質硬質炭素皮膜。
IPC (5):
C23C 16/26
, C23C 14/06
, C23C 14/34
, F16C 33/24
, F16J 9/26
FI (5):
C23C 16/26
, C23C 14/06 F
, C23C 14/34 N
, F16C 33/24 Z
, F16J 9/26 C
F-Term (26):
3J011QA04
, 3J011SB12
, 3J011SB13
, 3J011SB14
, 3J011SE02
, 3J044AA02
, 3J044BB19
, 3J044BB28
, 3J044BB30
, 3J044BB33
, 3J044BC06
, 4K029AA02
, 4K029BA02
, 4K029BA07
, 4K029BA17
, 4K029BB02
, 4K029BD04
, 4K029DC39
, 4K029FA01
, 4K030BA27
, 4K030BA28
, 4K030CA02
, 4K030FA01
, 4K030HA04
, 4K030LA01
, 4K030LA23
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
-
非晶質硬質炭素膜及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-135366
Applicant:株式会社リケン
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摺動部材
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-283326
Applicant:株式会社リケン
-
ダイヤモンドライクカーボン薄膜及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-057085
Applicant:株式会社リケン
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