気体排出物を識別する方法とシステム、およびそのようなシステムを備えた設備

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：川口義雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000007613
Publication number (International publication number)：2000214092
Application date： Jan. 17, 2000
Publication date： Aug. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】分析すべき気体をイオン化する装置(2、6)と、イオン化された気体を分析する装置(4、5)とを備えた、制御された圧力下でエンクロージャ(3)内の気体を分析するガス分析システムを提供すること。【解決手段】本発明によれば、分析すべき気体をイオン化する装置(2、6)は、エンクロージャ(3)内に含まれれた気体と接触しかつ分析すべき気体からプラズマを発生させる発生器(6)に結合された専用プラズマ源(2)を備え、イオン化された気体を分析する装置(4、5)は、プラズマが発生する領域の近傍に位置しかつ発生したプラズマによって放出された放射スペクトルの変動を分析する分光計(5)に接続された放射センサ(4)を備える。

Claim (excerpt)：

分析すべき気体をイオン化する装置(2、6)と、イオン化された気体を分析する装置(4、5)とを備えた、制御された圧力下でエンクロージャ(3)内の気体を分析するガス分析システムであって、分析すべき気体をイオン化する前記装置(2、6)が、エンクロージャ(3)内に含まれた気体と接触しかつ分析すべき気体からプラズマを発生させる発生器(6)に結合された専用プラズマ源(2)を備え、イオン化された気体を分析する前記装置(4、5)が、プラズマが発生する領域の近傍に位置しかつ発生したプラズマによって放出された放射スペクトルの変動を分析する分光計(5)に接続された放射センサ(4)を備えることを特徴とするガス分析システム。

IPC (3)：

G01N 21/68 , C23C 16/52 , G01N 21/73

FI (3)：

G01N 21/68 , C23C 16/52 , G01N 21/73

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

マイクロ波プラズマ発生トーチ管
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-157745 Applicant：株式会社日立製作所
特開平1-227048
雰囲気汚染評価装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-136352 Applicant：株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社

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