感光性ポリイミド前駆体組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997135113
Publication number (International publication number)：1998324745
Application date： May. 26, 1997
Publication date： Dec. 08, 1998
Summary：

【要約】【課題】アルカリ現像可能な感光性ポリイミド前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。

Claim (excerpt)：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)キノンジアジド化合物を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。【化1】(R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2は、結合手のオルト位に炭素数1〜20までの有機基、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、フッ素原子を有する2価の芳香族を有する有機基を示し、R3は水素、炭素数1から10までのアルキル基より構成され、少なくとも10%以上は水素原子である。nは10から100000までの整数、mは1または2の整数を示す。)

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-204738
感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-134357 Applicant：チッソ株式会社
溶媒可溶性ポリイミドの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-120764 Applicant：株式会社東芝

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