マイクロバルブ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：藤本英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002262462
Publication number (International publication number)：2004100800
Application date： Sep. 09, 2002
Publication date： Apr. 02, 2004
Summary：

【課題】構造が簡単で、特に、ヒータに対する配線構造が簡単であり、製作が容易なマイクロバルブを提供すること。【解決手段】微小流路5が下方側に形成された第1の基板2と、前記微小流路5のいずれかに形成されたゲート部6に対して接離自在のダイヤフラム12の可動部12aとヒータ13が形成されるとともに、前記ダイヤフラム12の可動部12aとヒータ13の下方にそれぞれ位置するように形成されるキャビティ9,10を備えた第2の基板3と、前記キャビティ9,10の下方を閉塞する第3の基板4との三層構造よりなり、前記ヒータ13の発熱に起因して前記キャビティ9.10内の圧力が上昇することにより前記ダイヤフラム12の可動部12aが上動して前記ゲート部13と密着することにより、前記微小流路5が閉じられるようにした。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

微小流路が下方側に形成された第1の基板と、前記微小流路のいずれかに形成されたゲート部に対して接離自在のダイヤフラムの可動部とヒータが形成されるとともに、前記ダイヤフラムとヒータの下方にそれぞれ位置するように形成されるキャビティを備えた第2の基板と、前記キャビティの下方を閉塞する第3の基板との三層構造よりなり、前記ヒータの発熱に起因して前記キャビティ内の圧力が上昇することにより前記ダイヤフラムの可動部が上動して前記ゲート部と密着することにより、前記微小流路が閉じられるようにしたことを特徴とするマイクロバルブ。

IPC (1)：

F16K31/68

FI (2)：

F16K31/68 B , F16K31/68 Z

F-Term (9)：

3H057AA05 , 3H057BB38 , 3H057CC04 , 3H057DD05 , 3H057EE10 , 3H057FA23 , 3H057FC02 , 3H057HH07 , 3H057HH11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

半導体微小流体制御素子及びそれを用いた半導体微小流体制御回路
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-383159 Applicant：科学技術振興事業団
マイクロバルブ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-037793 Applicant：横河電機株式会社
ガス供給装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-225842 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 株式会社本山製作所

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