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J-GLOBAL ID:200903024251484319
回転速度センサ
Inventor:
,
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
中平 治
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2007535984
Publication number (International publication number):2008514968
Application date: Sep. 27, 2005
Publication date: May. 08, 2008
Summary:
基板と、枠(2)、基板にある枠(2)の懸架片(7)、少なくとも1つの振動装置(3)、及び枠(2)にある振動装置(3)の懸架片(4,5)を含む少なくとも1つの基本素子(1,11,12,13,14)と、駆動手段(8)と、読取り装置(9,10)とを持つ回転速度センサに関する。本発明によれば、駆動手段(8)が基本素子(1,11,12,13,14)の枠(2)に作用するように構成されている。【選択図】図2
Claim (excerpt):
回転速度センサであって、基板と、枠(2)、基板にある枠(2)の懸架片(7)、少なくとも1つの振動装置(3)、及び枠(2)にある振動装置(3)の懸架片(4,5)を含む少なくとも1つの基本素子(1,11,12,13,14)と、駆動手段(8)と、読取り装置(9,10)とを持ち、駆動手段(8)が基本素子(1,11,12,13,14)の枠(2)に作用するように構成されている、回転速度センサ。
IPC (3):
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84
FI (3):
G01C19/56
, G01P9/04
, H01L29/84 Z
F-Term (12):
2F105BB02
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA26
, 4M112CA31
, 4M112FA01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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角速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-351552
Applicant:株式会社村田製作所
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振動ジャイロセンサー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-292586
Applicant:住友精密工業株式会社
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角速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-176992
Applicant:アイシン精機株式会社
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直交する1次振動および2次振動の相互干渉を防止した回転速度ジャイロスコープ
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平10-517158
Applicant:ハーン-シッカート-ゲゼルシャフトフアアンゲワンテフォルシュンクアインゲトラーゲナーフェライン
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静電可動機構、共振型装置および角速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-018952
Applicant:株式会社村田製作所
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角速度センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-351511
Applicant:株式会社デンソー
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