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J-GLOBAL ID:200903024251484319

回転速度センサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中平 治
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2007535984
Publication number (International publication number):2008514968
Application date: Sep. 27, 2005
Publication date: May. 08, 2008
Summary:
基板と、枠(2)、基板にある枠(2)の懸架片(7)、少なくとも1つの振動装置(3)、及び枠(2)にある振動装置(3)の懸架片(4,5)を含む少なくとも1つの基本素子(1,11,12,13,14)と、駆動手段(8)と、読取り装置(9,10)とを持つ回転速度センサに関する。本発明によれば、駆動手段(8)が基本素子(1,11,12,13,14)の枠(2)に作用するように構成されている。【選択図】図2
Claim (excerpt):
回転速度センサであって、基板と、枠(2)、基板にある枠(2)の懸架片(7)、少なくとも1つの振動装置(3)、及び枠(2)にある振動装置(3)の懸架片(4,5)を含む少なくとも1つの基本素子(1,11,12,13,14)と、駆動手段(8)と、読取り装置(9,10)とを持ち、駆動手段(8)が基本素子(1,11,12,13,14)の枠(2)に作用するように構成されている、回転速度センサ。
IPC (3):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84
FI (3):
G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H01L29/84 Z
F-Term (12):
2F105BB02 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA31 ,  4M112FA01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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