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J-GLOBAL ID：200903024294492226

高分子化合物、これを用いた感光性樹脂組成物、レリーフパターンの製造法及び電子部品

Inventor：
佐々木 顕浩

About 佐々木 顕浩


Applicant, Patent owner：
日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社

About 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社


Agent (1)： 高田 幸彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999088666
Publication number (International publication number)：2000284480
Application date： Mar. 30, 1999
Publication date： Oct. 13, 2000
Summary：
【要約】【課題】良好なi線透過性と低熱膨張性を両立し、低残留応力の半導体装置等の表面保護膜や層間絶縁膜の材料として有用な高分子化合物、それを用いたネガ型又はポジ型の感光性樹脂組成物、レリーフパターンの製造法、信頼性に優れる電子部品を提供する。【解決手段】一般式(1)【化1】(式中、Zは単結合、-O-、-CO-、-Si(CH3)2-,-Si(OCH3)2-、-C(CH3)2-,-C(CF3)2-,-C(CH3)(CF3)-,-C(OCH3)2-,-C(OCF3)2-及び-C(OCH3)(OCF3)-から選択される基であり、R及びR’は、各々独立に一価の基であって、光又は熱で互いに付加又は縮合して、前記Zと共に環を構成することができる基である)で表される構造単位を有する高分子化合物、これを用いた感光性樹脂組成物、レリーフパターンの製造法及び電子部品。
Claim (excerpt)：
一般式(1)【化1】(式中、Zは単結合、-O-、-CO-、-Si(CH3)2-,-Si(OCH3)2-、-C(CH3)2-,-C(CF3)2-,-C(CH3)(CF3)-,-C(OCH3)2-,-C(OCF3)2-及び-C(OCH3)(OCF3)-から選択される基であり、R及びR’は、各々独立に一価の基であって、光又は熱で互いに付加又は縮合して、前記Zと共に環を構成することができる基である)で表される構造単位を有する高分子化合物。
IPC (12)：
G03F 7/037 501 ,  G03F 7/037 ,  C08G 73/10 ,  C08G 73/22 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312
FI (13)：
G03F 7/037 501 ,  G03F 7/037 ,  C08G 73/10 ,  C08G 73/22 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/038 504 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (100)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA20 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC13 ,  2H025BC69 ,  2H025BC70 ,  2H025BC86 ,  2H025BE00 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA27 ,  2H096BA06 ,  2H096BA09 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  4J043PA02 ,  4J043PA19 ,  4J043QB15 ,  4J043QB23 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043QB34 ,  4J043RA06 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043TA03 ,  4J043TA42 ,  4J043TA45 ,  4J043TA47 ,  4J043TB01 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA042 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA142 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA362 ,  4J043UA422 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB311 ,  4J043UB322 ,  4J043UB352 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA011 ,  4J043VA012 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA032 ,  4J043VA041 ,  4J043VA042 ,  4J043VA051 ,  4J043VA052 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA081 ,  4J043VA082 ,  4J043VA101 ,  4J043XA04 ,  4J043XA13 ,  4J043YA13 ,  4J043YA23 ,  4J043ZA35 ,  4J043ZA52 ,  4J043ZB22 ,  5F058AA10 ,  5F058AC02 ,  5F058AC07 ,  5F058AD01 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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