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J-GLOBAL ID：200903024306455208

多重露光描画方法及び多重露光描画装置

Inventor：
奥山 隆志

About 奥山 隆志

, 
鷲山 裕之

About 鷲山 裕之


Applicant, Patent owner：
ペンタックス株式会社

About ペンタックス株式会社


Agent (1)： 松浦 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001278031
Publication number (International publication number)：2003084444
Application date： Sep. 13, 2001
Publication date： Mar. 19, 2003
Summary：
【要約】【課題】 マトリックス状に配置された多数の変調素子を持つ露光ユニットを用いて、パターンデータの画素サイズがどのような大きさのものであってもそのパターンデータに基づいて所定のパターンを適正に多重露光により描画する。【解決手段】 露光ユニットのマトリックス状に配置された変調素子の一方の配列方向に沿ってしかも該配列方向に対して所定の角度だけ傾斜させて該露光ユニット(181、...188;201、...207)を描画面32に対して相対的に移動させる。露光ユニットの変調素子によって描画面上に得られる単位露光領域のサイズの整数倍の距離Aに該サイズより小さい距離aを加えた距離(A+a)だけ露光ユニットが描画面上に対して相対的に移動する度毎に該露光ユニットの変調素子を所定のパターンデータに基づいて選択的に露光作動させる。
Claim (excerpt)：
マトリックス状に配置された多数の変調素子を持つ露光ユニットを用いて所定のパターンを描画面上に多重露光により描画する多重露光描画方法であって、前記露光ユニットのマトリックス状に配置された変調素子の一方の配列方向に沿ってしかも該配列方向に対して所定の角度だけ傾斜させて該露光ユニットを前記描画面に対して相対的に移動させる移動段階と、前記露光ユニットの変調素子によって前記描画面上に得られる単位露光領域のサイズの整数倍の距離Aに該サイズより小さい距離aを加えた距離(A+a)だけ前記露光ユニットが該描画面上に対して相対的に移動する度毎に該露光ユニットの変調素子を所定のパターンデータに基づいて選択的に露光作動させる露光段階とより成る多重露光描画方法。
IPC (2)：
G03F 7/20 501 ,  G02B 26/08
FI (2)：
G03F 7/20 501 ,  G02B 26/08 E
F-Term (10)：
2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ05 ,  2H097AA12 ,  2H097CA11 ,  2H097GB02 ,  2H097KA03 ,  2H097LA12
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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