油入高電圧電気機器において溶解炭化水素ガスを検出するためのセンサデバイス

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：松本研一 , 小倉博 , 伊藤信和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003414095
Publication number (International publication number)：2004198418
Application date： Dec. 12, 2003
Publication date： Jul. 15, 2004
Summary：

【課題】油入電気機器において溶解炭化水素ガスを検出するためのマルチガスセンサデバイス(10)を提供する。【解決手段】半導体基板(14)はGaN、SiC、AlN、InN、AlGaN、InGaN及びAlInGaNのうちの1つから成る。電気機器の油で充満された油だめにおいてガスを感知する方法は、センサデバイス(10)を提供することと、油だめにセンサデバイス(10)を浸漬することと、油から放出されるガスを1つ以上の触媒金属ゲート電極(16)と相互に作用させることと、ガスが触媒金属ゲート電極(16)と接触するにつれてガスを変化させることと、センサの感度を変化させることとから成る。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ガスセンサデバイス(10)において、半導体基板(14)と、前記半導体基板(14)の表面上に蒸着された1つ以上の触媒金属ゲート電極(16)と、前記半導体基板(14)の表面上に蒸着されたオーム接点(22)とを具備し、前記触媒金属ゲート電極(16)はガスを感知するように動作可能であり、且つ前記マルチガスセンサデバイス(10)は不導電性油の中に浸漬されているガスセンサデバイス(10)。

IPC (1)：

G01N27/414

FI (2)：

G01N27/30 301R , G01N27/30 301F

F-Term (26)：

2G060AA06 , 2G060AB03 , 2G060AB15 , 2G060AB16 , 2G060AB17 , 2G060AB18 , 2G060AB19 , 2G060AB20 , 2G060AB21 , 2G060AE19 , 2G060AF10 , 2G060AG10 , 2G060BA09 , 2G060BB07 , 2G060BB12 , 2G060BB14 , 2G060BB15 , 2G060DA02 , 2G060DA03 , 2G060DA14 , 2G060DA33 , 2G060HA02 , 2G060HC06 , 2G060HC18 , 2G060HD03 , 2G060KA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

米国特許第6,041,643号
米国特許第6,155,100号
米国特許第6,182,500号

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Cited by examiner (4)

ハイブリッド有機・無機半導体構造体及びそれに基づくセンサー
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平10-520249 Applicant：イエダリサーチアンドデベロップメントカンパニーリミテッド
ダイヤモンドショットキダイオード並びにこれを利用したガスセンサ及び化学物質センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-216267 Applicant：株式会社神戸製鋼所
ゲートが保護されたガスセンサー、センサーの形成法、および検出法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-239114 Applicant：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ

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